Benchmark Model of a Capacitively Coupled Plasma

Application ID: 11745


The underlying physics of a capacitively coupled plasma is rather complicated, even for rather simple geometric configurations and plasma chemistries. This model benchmarks the Capacitively Coupled Plasma physics interface against many different codes.

Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden: