Die Application Gallery bietet COMSOL Multiphysics® Tutorial- und Demo-App-Dateien, die für die Bereiche Elektromagnetik, Strukturmechanik, Akustik, Strömung, Wärmetransport und Chemie relevant sind. Sie können diese Beispiele als Ausgangspunkt für Ihre eigene Simulationsarbeit verwenden, indem Sie das Tutorial-Modell oder die Demo-App-Datei und die dazugehörigen Anleitungen herunterladen.
Suchen Sie über die Schnellsuche nach Tutorials und Apps, die für Ihr Fachgebiet relevant sind. Beachten Sie, dass viele der hier vorgestellten Beispiele auch über die Application Libraries zugänglich sind, die in die COMSOL Multiphysics® Software integriert und über das Menü File verfügbar sind.
This tutorial model explores the behavior of a microwave plasma torch. The plasma is generated within a dielectric tube inserted in a rectangular waveguide. The simulation solves the coupled equations for plasma transport and heating, microwave electromagnetic fields, fluid flow, and ... Mehr lesen
This tutorial studies the deposition of amorphous silicon using an inductively coupled plasma reactor with a silane/argon gas mixture. It examines how the deposition rate varies across the wafer as a function of silane mole fraction and input power. Mehr lesen
In this example, the etching of silicon in a CF4/O2 plasma reactor is studied using a global model. Parametric sweeps for ion energy and oxygen mole fraction are computed. Mehr lesen
This tutorial studies the etching of silicon using an inductively coupled plasma reactor with an RF bias in a mixture of CF4/O2. The etching rate is computed along the wafer as a function of the RF bias voltage. Mehr lesen
Electron transport in low-temperature plasmas depends strongly on the electron energy distribution function (EEDF), which is often approximated as Maxwellian but is frequently nonequilibrium in reality. Incorporating nonequilibrium EEDF behavior into spatially dependent models often ... Mehr lesen