Surface Micromachined Accelerometer

Application ID: 17325


This model shows how to simulate a capacitively actuated surface micromachined accelerometer, using the Electromechanics Interface. It is based on a case study from the book Microsystem Design by Stephen D. Senturia (Kluwer Academic Publishers, 5th Edition, 2003, pages 513-525).

Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden: