MEMS-Simulation für Innovation
Ingenieure und Forscher, die mit mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) arbeiten, profitieren von der Integration der COMSOL Multiphysics® Simulationssoftware in ihren Arbeitsablauf.
Die COMSOL Multiphysics® Software bietet eine einheitliche Benutzeroberfläche, unabhängig von den technischen Anwendungen und physikalischen Phänomenen, die Sie modellieren. Wenn Sie das MEMS Module hinzufügen, können Sie MEMS Komponenten und eine Vielzahl von multiphysikalischen Wechselwirkungen analysieren.
Reale MEMS-Simulationsbeispiele
Resonatoren
Texas Instruments nutzt Simulationen zur Analyse von MEMS-Resonatoren für den Einsatz in Internet-of-Things- (IoT-) und Sub-GHz-Geräten.
Phasenschieber
Forschende der EPFL haben einen kleinen photonischen MEMS-Phasenschieber aus Silizium entwickelt.
Piezoelektrische Sensoren
Ein Forschungsteam verwendet multiphysikalische Modellierung zur Charakterisierung piezoelektrischer Sensoren, die in der akustischen zerstörungsfreien Prüfung von Werkstoffen und Produkten eingesetzt werden.
Aktuatoren
Ein Team des Nanotechnology Research Center hat mit Hilfe von Simulationen ein verformbares Niederspannungs-Spiegelsystem für den Einsatz in einem Großteleskop entwickelt.