Quick Search

Hier finden Sie Veröffentlichungen und Präsentationen der weltweit stattfindenden COMSOL-Konferenzen. In diesen präsentieren Ihre Fachkollegen ihre neuesten mit COMSOL Multiphysics entwickelten Produkte und Ideen. Die Forschungsthemen umfassen ein weites Feld von Industrien und Anwendungsbereichen, die von Mechanik und Elektronik über Strömungen bis zur Chemie reichen. Nutzen Sie die Quick Search, um die zu Ihrem Forschungsbereich passenden Präsentationen zu finden.

Parameter Extraction and Support-Loss in MEMS Resonators

Peter Steeneken
Project Leader
RF MEMS Research Group
NXP Semiconductors
Eindhoven, The Netherlands

In this paper it is shown how the equivalent circuit parameters of a MEMS resonator can be simply obtained from an eigenfrequency simulation. Additionally, it is demonstrated that the Q-factor as a result of support losses in a MEMS resonator can be determined using a matched boundary layer. The method is applied to calculate the frequency dependent admittance of a diamond disk resonator. Results ...