FSI Analysis of Wafer-to-Wafer (W2W) Direct Bonding Process
Application ID: 151871
In direct bonding, the in-plane relative displacement between corresponding points on the bonding surfaces of the top and bottom wafers, denoted as IPD (In-Plane Distortion), is the primary yield killer in the bonding process. This model can predict the entire direct wafer bonding process: wafer flattening, downward pressing contact, bonding wave propagation, and load removal. Ultimately, it provides the W2W bonding wave velocity, IPD, warpage, and stress distribution under different process parameters.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.
