Vibrating Micromirror with Viscous and Thermal Damping: Transient Behavior
Application ID: 49481
Micromirrors are used in certain MEMS devices to control optic elements. This example of a vibrating micromirror surrounded by air uses uses the Thermoviscous Acoustics, Transient, the Shell, and the Pressure Acoustics, Transient interfaces, to model the fluid-solid interaction in the time domain.
The micromirror is initially actuated for a short time and then it exhibits damped vibrations. Using the Thermoviscous Acoustics, Transient interface, the full details of viscous and thermal damping of the mirror from the surrounding air are included.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.
