Solidly Mounted Resonator 2D
Application ID: 101711
A solidly-mounted resonator (SMR) is a piezoelectric MEMS resonator formed on top of an acoustic mirror stack deposited on a thick substrate. This tutorial shows how to simulate an SMR in 2D. In this example, the eigenmodes were computed and the frequency response from 500 to 1200 MHz was analyzed. The computed impedance curve and displacement profile agree reasonably well with the simulation results found in literature.
Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden:
Allerdings können zusätzliche Produkte erforderlich sein, um es vollständig zu definieren und zu modellieren. Weiterhin kann dieses Beispiel auch mit Komponenten aus den folgenden Produktkombinationen definiert und modelliert werden:
- COMSOL Multiphysics® und
- entweder Acoustics Module, MEMS Module, oder Structural Mechanics Module und
- entweder AC/DC Module, MEMS Module, Plasma Module, oder Semiconductor Module
Die Kombination von COMSOL® Produkten, die für die Modellierung Ihrer Anwendung erforderlich ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab und kann Randbedingungen, Materialeigenschaften, Physik-Interfaces und Bauteilbibliotheken umfassen. Bestimmte Funktionen können von mehreren Produkten gemeinsam genutzt werden. Um die richtige Produktkombination für Ihre Modellierungsanforderungen zu ermitteln, lesen Sie die Spezifikationstabelle und nutzen Sie eine kostenlose Evaluierungslizenz. Die COMSOL Vertriebs- und Support-Teams stehen Ihnen für alle Fragen zur Verfügung, die Sie diesbezüglich haben.