Berechnung der Geschwindigkeit akustischer Oberflächenwellen mit einer Einheitszelle

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Mithilfe von FEM-Simulationen lassen sich die Ausbreitungsgeschwindigkeit von akustischen Oberflächenwellen und zugehörige Parameter (z. B. das Quadrat des elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, das Reflexionsvermögen) für verschiedene typische Konfigurationen bestimmen. Diese Parameter dienen als Eingangsdaten für diverse analytische und semi-analytische Verfahren zur Auslegung von SAW-Bauelementen, wie beispielsweise das Delta-Funktionsmodell und die COM-Methode.

Ein Einheitszellenmodell mit periodischen Randbedingungen und eine Eigenfrequenzstudie stellen den typischen Aufbau dar. In diesem Beitrag wird die Einheitszelle für eine Mittenfrequenz von etwa 433 MHz auf einem 128° YX-geschnittenen LiNbO₃-Kristall mit Aluminium-IDTs untersucht.

Es werden drei Konfigurationen dargestellt:

– Freie Oberfläche: Kein IDT, keine elektrischen Anschlüsse – IDT: Zwei typische geerdete Aluminiumelektroden – Geerdete Oberfläche: Kein IDT, vollständig geerdete Oberfläche

Dieses Beispiel veranschaulicht Anwendungen diesen Typs, die mit den folgenden Produkten erstellt wurden: