Plasma Module

Zum Modellieren von Niedertemperatur- und Nichtgleichgewichtsplasmen

Plasma Module

Eine quadratische Spule befindet sich über einem dielektrischen Fenster und wird elektrisch angeregt, während in der darunter befindlichen, mit Argon gefüllten Kammer ein Plasma erzeugt wird. Das Plasma wird über elektromagnetische Induktion aufrechterhalten, bei der die Leistung aus den elektromagnetischen Feldern an die Elektronen übertragen wird.

Maßgeschneidert zum Simulieren von Niedertemperatur-Plasmaquellen und -systemen

Das Plasma Module ist maßgeschneidert, um Niedertemperatur-Plasmaquellen und -systeme zu modellieren und zu simulieren. Ingenieure und Wissenschaftler nutzen es, um Einblicke in die physikalischen Vorgänge von Entladungen zu gewinnen und die Leistungsfähigkeit von vorhandenen oder möglichen Entwicklungen zu beurteilen. Das Modul kann Analysen in allen Raumdimensionen ausführen – 1D, 2D und 3D. Plasmasysteme sind von Natur aus komplizierte Systeme mit einem hohen Grad an Nichtlinearität. Kleine Änderungen der elektrischen Eingangsleistung oder der Plasmachemie können zu erheblichen Änderungen in den Entladungseigenschaften führen.

Plasmen – wirklich multiphysikalische Systeme

In Niedertemperaturplasmen sind verschiedene physikalische Phänomene miteinander gekoppelt: Strömungsmechanik, Verfahrenstechnik, physikalischer Kinetik, Wärmetransport, Stofftransport und Elektromagnetik – anders formuliert: ein wirklich multiphysikalisches System. Das Plasma Module ist ein spezialisiertes Werkzeug zum Modellieren von Nichtgleichgewichtsplasmen, die in vielen technischen Disziplinen auftreten. Das Plasma Module besteht aus einer Reihe von Physikinterfaces, die es ermöglichen, beliebige Systeme zu modellieren. Über diese Interfaces können beispielsweise folgende Phänomene modelliert werden: Gleichstromentladungen, induktiv gekoppelte Plasmen und Mikrowellenplasmen. Das Plasma Module wird mit einer Reihe von dokumentierten Beispielmodellen, mit schrittweisen Beschreibungen des Modellierungsprozesses und mit einem Benutzerhandbuch geliefert.

Capacitively Coupled Plasma Analysis

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

Thermal Plasma

Dielectric Barrier Discharge

GEC ICP Reactor, Argon Chemistry

In-Plane Microwave Plasma

Surface Chemistry Tutorial

Benchmark Model of a Capacitively Coupled Plasma

Model of an Atmospheric Pressure Corona Discharge

Computing the Ion Energy Distribution Function